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无锡昭蓝科技申请三轴螺旋扫描运动控制系统专利有效避免了传统扫描方式存在的漏检与运动模糊问题

日期:2026-02-07 浏览: 

  

无锡昭蓝科技申请三轴螺旋扫描运动控制系统专利有效避免了传统扫描方式存在的漏检与运动模糊问题(图1)

  国家知识产权局信息显示,无锡昭蓝科技有限公司申请一项名为“一种三轴螺旋扫描运动控制系统”的专利,公开号CN121455024A,申请日期为2025年11月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种三轴螺旋扫描运动控制系统,本发明涉及半导体制造检测装备技术领域,包括运动平台和控制器,所述运动平台用于承载和移动晶圆,所述控制器用于协调运动;所述运动平台包括X轴直线运动模块、Z轴直线运动模块和T轴旋转运动模块。该三轴螺旋扫描运动控制系统,通过X、Z、T三轴的特殊构型与协同控制,解决了单一运动轴固有的速度与精度矛盾,实现了高线速度下的稳定运行,确保了扫描路径的均匀覆盖与图像采集的精确同步,有效避免了传统扫描方式存在的漏检与运动模糊问题。

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  天眼查资料显示,无锡昭蓝科技有限公司,成立于2024年,位于无锡市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本150万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡昭蓝科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息2条,此外企业还拥有行政许可2个。

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